CMUT PARAMETRIC DESIGN

从目标性能，反向生成结构方案

输入关键结构约束与性能目标，快速探索可制造的电容式微机械超声换能器设计空间。

本次设计空间2,880组参数组合已评估

02

候选结构方案

已按目标匹配度与可制造性综合排序

排序

Ø 65.6 μm

t 1.86 μm

推荐方案#77 · 方形单元阵列

预测谐振频率5.56 MHz11.1%

预测塌陷电压16.9 V-47.0%

综合评分73.9优选

性能匹配74%

可制造性94%

全部方案 12

	方案 / 结构	半径	膜厚	间隙	谐振频率	塌陷电压	带宽	风险	评分
	#77 方形52 cells	32.8 μm	1.86 μm	0.232 μm	5.56 MHz	16.9 V	43%	低	73.9
	#61 圆形108 cells	38.3 μm	2.00 μm	0.225 μm	4.75 MHz	13.8 V	42%	低	73.1
	#18 六边形191 cells	28.9 μm	1.25 μm	0.221 μm	5.00 MHz	11.4 V	44%	低	72.5
	#42 六边形107 cells	26.6 μm	1.04 μm	0.231 μm	4.92 MHz	10.9 V	42%	低	71.2
	#80 方形109 cells	37.0 μm	1.96 μm	0.220 μm	4.60 MHz	13.3 V	42%	低	71.1
	#13 圆形96 cells	31.7 μm	1.42 μm	0.206 μm	4.92 MHz	10.5 V	39%	低	70.7
	#37 圆形192 cells	29.5 μm	1.21 μm	0.216 μm	4.83 MHz	10.2 V	38%	低	69.7
	#08 方形181 cells	32.4 μm	1.58 μm	0.191 μm	4.83 MHz	10.1 V	41%	低	69.6
	#81 六边形128 cells	29.6 μm	1.33 μm	0.181 μm	5.09 MHz	8.8 V	44%	低	68.8
	#32 方形97 cells	30.5 μm	1.38 μm	0.200 μm	4.75 MHz	10.0 V	39%	低	68.7
	#76 圆形213 cells	32.3 μm	1.50 μm	0.165 μm	5.00 MHz	7.9 V	40%	低	68.5
	#62 方形127 cells	28.9 μm	1.37 μm	0.186 μm	5.27 MHz	9.9 V	40%	低	68.4